仪器科学与技术系成立于2000年，依托机械工程学院，拥有中央与地方共建机械工程实验教学示范中心、国家级机械工程实验教学示范中心、山东省精密制造与特种加工重点实验室、山东省光纤通信检测工程技术研究中心、山东省数字化设计与制造工程技术研究中心、山东省高校精密模具重点实验室、山东理工大学测控实验室，实验室面积总计3500余平方米；与淄博特种设备检验研究院、淄博计量研究院、山东新华医疗器械股份有限公司等14家企事业单位建有校外实践教学基地。各类教学科研仪器设备原值6400余万元，已建设国家级精品课程1门、山东省精品课程1门、山东省一流课程1门，省级教学团队1个，“十一五”国家规划教材1部，“十三五”国家重点出版物出版规划项目现代机械工程系列精品教材2部，山东省优秀教材2部，山东省普通高等教育一流教材1部。

    仪器科学与技术系现有专职教师38人，其中，正高级职称9人，副高级职称11人，中级职称14人，具有境外研修和留学经历的教师10人，45岁以下占57.5%，博士学位占84.8%，具有工程背景的教师占66.7%。其中，享受国务院政府特殊津贴1人，全国优秀教师1人，全国仪器类教学指导委员会委员1人，山东省“泰山学者”青年专家1人，山东省有突出贡献的中青年专家1人，山东省教学名师1人，安徽省创新领军人才1人，淄博市有突出贡献中青年专家1人，日照市产业领军人才1人，张店区有突出贡献中青年专家1人，全国产品几何技术规范标准化技术委员会委员1人，中国流体传动与控制委员会委员1人，IEEE会员1人，山东理工大学双百人才2人。近5年来，承担国家级科研项目13项，省部级项目30余项，企事业合作项目70余项，获国家级科技奖励1项，省部级科技奖励4项，高水平论文210余篇，授权发明专利35项，纵横向科研经费8783万元。

    本科教育方面，仪器科学与技术系设有“测控技术与仪器”（080301）专业，该专业成立于2000年，2012年被评为山东省特色专业；2013年被确定为山东省首批特色名校建设工程辐射专业；2016年获批山东省首批高水平应用型立项建设支撑专业；2018年获批山东省首批新旧动能转换专业对接产业专业群建设立项；2019年获山东省首批一流本科专业建设点，2020年获批国家级一流本科专业建设点。

    研究生教育方面，仪器科学与技术系于2004年获批测试计量技术及仪器二级学科硕士点，2010年获批仪器仪表工程专业学位硕士点，2011年获批仪器科学与技术一级学科硕士点。仪器科学与技术系现拥有全日制和非全日制硕士点四个，博士研究生导师4人，硕士研究生导师23人，每年培养研究生20人左右。

    经过二十年的发展，仪器科学与技术系在人才培养、科研平台、学术研究和社会服务等方面都取得了长足进步，形成了自己的特色。近三年本专业本科保送/考取研究生比例40%左右，其中80%以上的进入北京航空航天大学、北京理工大学、天津大学、大连理工大学、东南大学、电子科技大学、南京航空航天大学、合肥工业大学等“双一流”高校，毕业生一次就业率95%以上。目前已培养本科生及硕士研究生近3000名，在各自的技术领域发挥着积极的作用，并逐渐成长为企业骨干或行业精英，为山东乃至全国的经济建设和社会发展做出了贡献。